در سال 1959 ریچارد فاینمن در صحبت هاي خود گفت: اگر جامعه فیزیک بخواهد چیزي مهم در حیطه زیست شناسی بسازد باید میکروسکوپی بسازد که 1000 بار قویتر از میکروسکوپ هاي الکترونی موجود (سال 1959) باشد. هم اکنون میکروسکوپ هاي الکترونی یکی از مهم ترین ابزار براي درك فرایندها و مواد در مقیاس نانو به شمار می روند. بزرگی این چنین بیان کرده است: "اگر شما از میکروسکوپ هاي الکترونی استفاده نکنید، واقعاً نانوکار نیستید"
   میکروسکوپ الکترونی به دسته اي از میکروسکوپ ها گفته می شود که از اشعه الکترونی براي تصویرسازي استفاده می کنند. میکروسکوپ هاي معمول نوري نمی توانند ابعاد نانومتري را به تصویر بکشند. علت این امر محدوده طول موج امواج نور مریی است که بالاتر از 400 نانومتر است. بنابراین از امواجی استفاده می کنیم که طول موجی کمتر داشته باشد.

   امواج پر انرژي الکترونی طول موج بسیار کمتري از امواج نوري دارند و براي این هدف مناسبند. یک پرتو الکترونی پرانرژي متمرکز با انرژي بالا دارد که سطح نمونه (SEM) میکروسکوپ الکترونی روبشی را اسکن می کند و انواع زیادي از علائم را که می توانند اطلاعات مربوط به توپوگرافی سطح را داشته باشند تولید می کنند.
   نخستین میکروسکوپ الکترونی روبشی در سال 1942 میلادي بسط و توسعه داده شد و نخستین دستگاههاي آن در حدود سال 1965 وارد بازار شدند. پیشرفت کند این میکروسکوپها در مقایسه با مربوط به قسمت الکترونیکی دستگاه می شود که در کار پویش (TEM) میکروسکوپ الکترونی عبوري پرتوهاي الکترونی تابیده شده به نمونه و وارد شده به آن نقش به سزایی دارد. امروزه استفاده از میکروسکوپ الکترونی رویشی، بسیار متداول تر از تصاویري با SEM شده است. علت این است که TEM وضوح مناسب دارد که روش تهیه نمونه آن، آسانتر است.