طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس (EDS یا EDX) یک روش تحلیلی است که برای تجزیه و تحلیل ساختاری یا خصوصیات شیمیایی یک نمونه به کار می‌رود. این روش بر بررسی بر هم کنش بین یک منبع برانگیختگی پرتو ایکس و یک نمونه متکی است. قابلیت‌های توصیفی این روش به طور کلی بر اساس این اصل کلی است که هر عنصر دارای یک ساختار اتمی منحصربه‌فرد است که مجموعهٔ منحصربه‌فردی از قله‌ها (peaks) را در طیف پرتو ایکس آن ممکن می‌سازد.

   میکروسکوپ الکترونی روبشی یا SEM نوعی میکروسکوپ الکترونی است که قابلیت عکس‌برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا ۲۰ نانومتر (بسته به نوع نمونه) را دارد.

   به طور كلي ميكروسكوپ الكتروني عبوري TEM مشابه ميكروسكوپ نوري OM است با اين تفاوت كه در آن به جاي نور با طول موج حدود 5000 A° از الكترون‌هايي با طول موج حدود A°0.05 براي روشن كردن نمونه استفاده مي‌شود.

   پیدایش میکروسکوپ هاي الکترونی عبوري TEM به صورت تجاري به سال 1940 باز می گردد اما از سال 1950 به بعد بود که کاربردهاي گسترده اي در بررسی فلزات پیدا نمودند.

   میکروسکوپ الکترونی به دسته اي از میکروسکوپ ها گفته می شود که از اشعه الکترونی براي تصویرسازي استفاده می کنند. میکروسکوپ هاي معمول نوري نمی توانند ابعاد نانومتري را به تصویر بکشند.