مهندسی میکرو فرآیند دانش انجام فرآیندهای شیمیایی یا فیزیکی در حجم کوچکی معمولاً داخل کانال‌هایی با قطر کمتر از 1 میلی‌متر (میکرو کانال‌ها) یا ساختارهای دیگر با ابعاد کوچک‌تر از میلی‌متر است. مهندسی میکرو فرآیند از میکرو شیمی که به بررسی مواد با مقدار بسیار کوچک پرداخته می‌شود، نباید اشتباه گرفته شود.

   زیرشاخه مهندسی میکرو فرآیند که با واکنش‌های شیمیایی سروکار دارد، در میکرو راکتورها انجام می‌شود و با نام تکنولوژی میکرو واکنش شناخته می‌شود.

   مزایایی منحصربه‌فرد راکتورهای میکرو ساختار عبارت‌اند از: افزایش انتقال حرارت به دلیل نسبت سطح به حجم بزرگ و افزایش انتقال جرم. خواص انتقال حرارت خوب به کنترل دمای دقیق واکنش‌ها منجر می‌شود. همچنین می‌توان دمای راکتورهای میکرو ساختار را مرتباً با قصد رسیدن به رفتار غیر هم‌دما تغییر داد.

• تشدید فرایند

   درحالی‌که ابعاد کانال‌های تک، کوچک است، یک دستگاه مهندسی فرایند میکرو (راکتور میکرو ساختار) می‌تواند شامل تعداد بسیار زیادی از این کانال‌ها باشد و اندازه کلی آن در ابعاد متر باشد. اولین هدف مهندسی میکرو فرآیند کوچک کردن نیروگاه تولید نیست بلکه افزایش بازده و انتخاب مناسب راکتور است تا هزینه تولید مواد شیمایی کاهش پیدا کند. این هدف با انجام واکنش‌هایی که در ابعاد بزرگ قابل انجام نیست یا انجام واکنش‌ها در پارامترهای خاصی (دما، فشار، غلطت) که در حجم‌های زیاد ممکن است ایمن نباشند، میسر می‌شود. بهبود بازده و انتخاب مناسب با استفاده از واکنش‌های جدید یا انجام واکنش در پارامترهای حساس‌تر تحت عنوان تشدید فرآیند شناخته می‌شود.