ابزارهای MEMS در بازارهای مختلف صنعتی، تعیینكننده كیفیت محصولات شده و پیشبینی میشود كه این فناوری سالانه 50% رشد داشته باشد. اگرچه وسایل MEMS خیلی كوچك اند (مثلا" MEMS دارای موتورهای الكتریكی كوچكتر از قطر موی انسان است) ولی اهمیت فناوری MEMS فقط به اندازه آنها مربوط نمیشود. علاوه بر این، MEMS فقط به پایه سیلیكونی محدود نمیشود، هرچند سیلیكون به دلیل داشتن خواص عالی به یك انتخاب جالب توجه برای مصارف مكانیكی با كیفیت بالا تبدیل شده است. (مثلا" نسبت استحكام به وزن برای سیلیكون از خیلی از مواد مهندسی دیگر بالاتر است، كه ساخت وسایل مكانیكی با پهنای باند وسیع (band width) را ممكن میسازد).
در عوض، MEMS فناوری تولیدی است كه راه جدیدی برای ایجاد سیستم های الكترومكانیكی ارائه میدهد با تكنیكهای تولید ناپیوسته ارائه میدهد، مانند روش تولید مدارهای مجتمع كه باعث تولید عناصر الكترومكانیكی در كنار قطعات الكترونیكی میشود.
فناوری MEMS توانایی كشفیات جدیدی را در علوم و مهندسی دارد، مثل:
- میكروسیستم های واكنش های زنجیرهای پلیمراز (PCR) برای تقویت و شناسایی DNA.
- میكروسكپهای تونلزنی پیمایشگر (STM) كه با فرآیندهای ماشینكاری میكرونی ساخته شدهاند.
- تراشههای زیستی شناساگر عوامل خطرناك شیمیایی و بیولوژیكی.
- فناوری جهشی میكروسیستم ها جهت غربال و انتخاب سریع دارو.