فناوری MEMS مزایای متعددی دارد که در ادامه به آن اشاره شده است.

• MEMS  فناوری گسترده‌ای است كه بالفعل می‌تواند تأثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد. هم‌اكنون MEMS در هر چیزی، از نمایش فشار خون گرفته تا سیستمهای تعلیق فعال خودروها active suspension) systems) مورد استفاده قرار می‌گیرد. لذا ماهیت فناوری MEMS و كاربردهای متعددش، آن را از فناوریهای مرسوم حتی مدارهای مجتمع و ریزتراشه‌ها فراگیر تر نموده است.
• MEMS فاصله بین سیستم‌های مكانیكی پیچیده و مدارهای مجتمع الكترونیكی را پر می‌كند. حس‌كننده‌ها و محركها عموماً گران قیمت‌اند، به علاوه سیستم "الكترونیكی، محركها و حس‌كننده‌ها" در ابعاد بزرگ قابل اعتماد نیستند. فناوری MEMS امكان ساخت سیستمهای میكروالكترومكانیكی را با استفاده از تكنیكهای ساخت ناپیوسته فراهم كرده و موجب برابری قیمت و اعتبار حس‌كننده‌ها و محركها با مدارهای مجتمع می‌شود. جالب اینكه، انتظار می‌رود كارآیی دستگاهها و ابزارهای MEMS بالاتر از عناصر و سیستمهای مقیاس ماكرو و قیمت آن خیلی پایین‌تر از آنها باشد.
• به عنوان یك نمونه جدید از فواید فناوری MEMS می‌توان به شتاب‌سنجهای MEMS اشاره كرد، كه به سرعت جایگزین سرعت‌سنجهای مربوط به سیستمهای كیسه هوا در اتومبیل می‌شود. در روش مرسوم از چندین شتاب‌سنج حجیم شامل اجزای مختلف در جلوی خودرو استفاده می‌‌شود كه قطعات الكترونیكی سیستم در نزدیكی كیسه هوا قرار دارند و قیمت مجموعه بالغ بر 50 دلار است.
• MEMS  فناوری گسترده‌ای است كه بالفعل می‌تواند تأثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد.
• MEMS این امكان را فراهم كرده تا شتاب‌سنج و وسایل الكترونیكی با هزینه‌ای كمتر از 5 تا 10 دلار در یك ریزتراشه سیلیكونی تلفیق شوند. شتاب‌سنج MEMS خیلی كوچكتر، كارآمدتر، سبكتر و قابل اعتمادتر بوده و قیمتی بسیار كمتر از شتاب‌سنجهای مرسوم دارد. لذا انتظار می‌رود  ظرف چند سال آینده این شتاب‌سنجها جایگزین دستگاههای مشابه در كلیه خودروهای خارجی و داخلی گردند.

• بهای اندك عناصر شتاب‌سنج MEMS، اجازه ساخت كیسه هوا برای حفاظت مسافرین در مقابل ضربات كناری را می‌دهد. ادامه پیشرفت در فناوری شتاب‌سنج MEMS در 5 سال آینده، این امكان را می‌دهد تا حس‌كننده‌ها, اندازه و وزن یك مسافر را تعیین كرده و پاسخ بهینه را محاسبه كنند تا صدمات احتمالی ناشی از كیسه هوا كاهش یابد.